光學(xué)系統(tǒng)：包括目鏡和物鏡，目鏡用于放大觀察，物鏡則提供更高級(jí)別的放大。物鏡通常有不同倍率，如4X、10X、40X或更高，以滿(mǎn)足不同觀察需求。

載物臺(tái)：用于放置被觀察的樣本，通常有移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)功能，以便于精確對(duì)焦和定位。

調(diào)焦系統(tǒng)：包括粗調(diào)焦旋鈕和細(xì)調(diào)焦旋鈕，粗調(diào)焦用于快速找到樣品，細(xì)調(diào)焦用于精細(xì)調(diào)整清晰度。

測(cè)量系統(tǒng)：有的測(cè)量顯微鏡配備有測(cè)量附件，如測(cè)微尺、目鏡測(cè)微尺、測(cè)微計(jì)等，可以直接讀取或電子顯示微小尺寸。

照明系統(tǒng)：提供均勻的照明，可以是自然光、鹵素?zé)簟ED燈等，確保觀察效果。

電子輔助功能：現(xiàn)代測(cè)量顯微鏡可能配備數(shù)碼相機(jī)、圖像分析軟件，甚至可以進(jìn)行三維掃描和數(shù)據(jù)采集，方便進(jìn)行圖像處理和數(shù)據(jù)測(cè)量。

控制臺(tái)或觸摸屏界面：用于操作顯微鏡的各項(xiàng)功能，包括焦距、照明、測(cè)量等，有的還支持遠(yuǎn)程控制。